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가스스크러버 수출
  • 작성자 관리자
  • 작성일 2017.07.15
  • 조회수 108

   반도체팹용 가스스크러버를 수주하였습니다.   중국 반도체팹에 설치하며, 지속적으로 수출을 할 예정입니다.

                                                                                  수주내용

항목 내용
 장비명  가스스크러버
 제거 가스  에칭, CVD 공정 배출가스, NOx 
 처리유량  4 CMM
 NOx 제거방식  NH3-SCR
 특징  NOx 제거율 90% 이상
 NH3 slip 없음


  당사는 관련 촉매 및 흡착제를 생산하고, 장비를 설계 및 외주제작하여 납품합니다.